Lưu lượng kế khối lượng nhiệt cho khí sạch FMA1700A/1800A Series
Lưu lượng kế khối lượng nhiệt cho khí sạch FMA1700A/1800A Series cho phép người dùng theo dõi lưu lượng của nhiều loại khí từ 10 SCCM đến 1000 SLM. Sử dụng truyền nhiệt qua ống được làm nóng để đo tốc độ dòng khí phân tử, FMA1700A / 1800A cung cấp phép đo tốc độ dòng khí trực tiếp, mà không cần phải bù cho sự thay đổi của nhiệt độ hoặc áp suất khí (trong giới hạn đã nêu). Thiết kế thân nhôm/đồng có tính kinh tế cao cho các dòng khí điển hình và phiên bản thép 316SS cho các ứng dụng đòi hỏi khả năng chống ăn mòn cao hơn.
Tổng quan
Lưu lượng kế khối lượng nhiệt cho khí sạch FMA1700A/1800A Series cho phép người dùng theo dõi lưu lượng của nhiều loại khí từ 10 SCCM đến 1000 SLM. Sử dụng truyền nhiệt qua ống được làm nóng để đo tốc độ dòng khí phân tử, FMA1700A / 1800A cung cấp phép đo tốc độ dòng khí trực tiếp, mà không cần phải bù cho sự thay đổi của nhiệt độ hoặc áp suất khí (trong giới hạn đã nêu). Thiết kế thân nhôm/đồng có tính kinh tế cao cho các dòng khí điển hình và phiên bản thép 316SS cho các ứng dụng đòi hỏi khả năng chống ăn mòn cao hơn. FMA1700A không có màn hình tích hợp được cung cấp với trường tương tự có thể lựa chọn 0 đến 5V hoặc đầu ra 4 đến 20 mA để theo dõi từ xa; Sê-ri FMA1800A có cả màn hình hiển thị 3 chữ số tích hợp và đầu ra analog. Màn hình có thể nghiêng hơn 90 độ để xem thuận tiện. Màn hình được hiệu chuẩn theo tiêu chuẩn để đọc trực tiếp thông số SCCM hoặc SLM cho nitơ (các hiệu chuẩn khí khác có sẵn theo thứ tự). Với giá thành thành cạnh tranh, tích hợp màn hình kỹ thuật số, khả năng đầu ra tương tự và không nhạy cảm với sự thay đổi của nhiệt độ và áp suất khí, Sê-ri FMA1700A / 1800A là sản phẩm thay thế lý tưởng cho nhiều lưu lượng kế kiểu phao.